Tóm tắt nội dung

Nội dung của giáo trình tập trung vào các nhóm quy trình công nghệ quan trọng, được trình bày trong tám chương. Chương 1 trình bày tổng quan ngắn gọn về các linh kiện bán dẫn quan trọng và những bước phát triển công nghệ chủ chốt, đồng thời giới thiệu các công đoạn chế tạo cơ bản và môi trường phòng sạch. Chương 2 trình bày vật liệu bán dẫn silic và quy trình chế tạo phiến silic đơn tinh thể. Chương 3 giới thiệu công nghệ quang khắc.  Chương 4 phân tích các kỹ thuật ăn mòn vi cấu trúc. Chương 5 giới thiệu các phương pháp lắng đọng hơi vật lý (PVD). Chương 6 trình bày các kỹ thuật lắng đọng hóa học pha hơi (CVD) cùng các quá trình hình thành màng mỏng trong công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn. Chương 7 trình bày kỹ thuật khuếch tán. Cuối cùng, chương 8 giới thiệu kỹ thuật chính để đưa tạp chất vào vật liệu là cấy ion.